Herkunftsort:
China
Markenname:
KACISE
Zertifizierung:
CE
Modellnummer:
KGD-MQ-537
KGD - MQ - 537 Infrarotgassensor
Produkteinführung
Der KGD-MQ-537-Infrarotgassensor basiert auf der Non-Dispersive Infrared (NDIR) -Technologie und kann Gase wie SiF4, CF4, SF6, NF3 genau messen.und CO2 in HalbleiteranwendungenEs ist kompatibel mit den üblichen vorgegebenen Abmessungen, Flanschen und Kommunikationsprotokollen innerhalb von Geräten.sowie Enddetektion für die Kammerreinigung, die dazu beitragen, die Reinigungszeit zu verkürzen, die Kosten zu senken und die Produktion zu erhöhen.
Produktmerkmale
Technische Parameter
Parameter | Einzelheiten |
Erkennungsprinzip | NDIR |
Erfasste Gase | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Messbereich | 1 - 264 ppm (0 - 200 mTorr) |
Wiederholbarkeit | ± 0,5% |
Linearität | ± 1% F.S. |
Nachweisgrenze | 1 ppm |
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