Name: KGD-MQ-537 NDIR-Infrarotgassensor mit Multi-Gas-Überwachung und 1 ppm Detektionsgrenze für Halbleiteranwendungen
Brand: Xi'an Kacise Optronics Co.,Ltd.
SKU: KGD-MQ-537
Price: 72.00 USD
Availability: InStock

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KGD-MQ-537 NDIR-Infrarotgassensor mit Multi-Gas-Überwachung und 1 ppm Detektionsgrenze für Halbleiteranwendungen

Hochlinearitäts-Infrarot-Gassensor

0 200mTorr-Infrarot-Gassensor

1 264 ppm Infrarotgassensor

Herkunftsort:

China

Markenname:

KACISE

Zertifizierung:

Modellnummer:

KGD-MQ-537

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KGD-MQ-537 NDIR-Infrarotgassensor mit Multi-Gas-Überwachung und 1 ppm Detektionsgrenze für Halbleiteranwendungen

Einzelheiten zum Produkt

Detection Principle:

NDIR

Detected Gases:

SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2

Measuring Range:

1 - 264ppm (0 - 200mTorr)

Repeatability:

±0.5%

Linearity:

±1%F.S.

Detection Limit:

1ppm

Hervorheben:

Hochlinearitäts-Infrarot-Gassensor

0 200mTorr-Infrarot-Gassensor

1 264 ppm Infrarotgassensor

Zahlungs- und Versandbedingungen

Min Bestellmenge

1 PCS

Verpackung Informationen

Jede Einheit verfügt über eine individuelle Box und alle Boxen sind in Standardverpackungen verpackt

Lieferzeit

5-8 Arbeitstage

Zahlungsbedingungen

L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram

Versorgungsmaterial-Fähigkeit

1000 Stück/Stück pro Woche verhandelbar

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Beschreibung des Produkts

KGD-MQ-537 Infrarotgassensor

Produktübersicht

KGD - MQ - 537 Infrarotgassensor

Der Infrarotgassensor KGD-MQ-537 nutzt die Non-Dispersive Infrared (NDIR) -Technologie, um Gase wie SiF4, CF4, SF6, NF3 und CO2 in Halbleiteranwendungen genau zu messen.Konzipiert mit Kompatibilität für gemeinsame Ausrüstungsmaße, Flansche und Kommunikationsprotokolle, ist dieser Sensor ideal für die Endpunktdetektion in Halbleiterdeposition und Reinigungsprozessen sowie für die Enddetektion für die Kammerreinigung,die Zeit der Reinigung verkürzen, Kosten senken und die Produktion erhöhen.

Wesentliche Merkmale

Nutzt NDIR-Technologie mit Überwachungskapazität für mehrere Gase (SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2, usw.)
Schnelle Reaktionszeit und hohe Empfindlichkeit
Keine Verbrauchsmaterialien erforderlich
Analog-/digitale Kommunikationsmöglichkeiten
Moduläres Design für eine einfache Integration

Technische Spezifikation

Parameter	Einzelheiten
Erkennungsprinzip	NDIR
Erfasste Gase	SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2
Messbereich	1 bis 64 ppm (0 bis 200 mTorr)
Wiederholbarkeit	± 0,5%
Linearität	± 1% F.S.
Nachweisgrenze	1 ppm

Stichworte：

KGD-MQ-537 NDIR-Infrarotgassensor mit Multi-Gas-Überwachung und 1 ppm Detektionsgrenze für Halbleiteranwendungen

Hochlinearitäts-Infrarot-Gassensor

0 200mTorr-Infrarot-Gassensor

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