Herkunftsort:
China
Markenname:
KACISE
Zertifizierung:
CE
Modellnummer:
KGD-MQ-536
KGD - MQ - 536 Infrarotgassensor
Produkteinführung
Der KGD-MQ-536-Infrarotgassensor basiert auf der Non-Dispersive Infrared (NDIR) -Technologie und kann Gase wie WF6, CF4, SF6, NF3 genau messen.und CO2 in HalbleiteranwendungenEs ist kompatibel mit den üblichen vorgegebenen Abmessungen, Flanschen und Kommunikationsprotokollen innerhalb von Geräten.sowie Enddetektion für die Kammerreinigung, wodurch die Reinigungszeit reduziert, die Kosten gesenkt und die Produktion gesteigert wird.
Produktmerkmale
Technische Parameter
Parameter | Einzelheiten |
Erkennungsprinzip | NDIR |
Erfasste Gase | WF6, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Messbereich | 1 - 264 ppm (0 - 200 mTorr) |
Wiederholbarkeit | ± 0,5% |
Linearität | ± 1% F.S. |
Nachweisgrenze | 1 ppm |
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